Published January 1, 2018
| Version v1
Publication
Open
Surface morphology and wettability for thin films of beta-iron disilicide produced through direct-current sputtering utilizing a pair of facing targets
- 1. King Mongkut's Institute of Technology Ladkrabang
- 2. Kyushu University
Description
In the current work, beta-FeSi2 films were epitaxially produced onto Si(111) wafer substrates via usage of facing-targets direct-current sputtering (FTDCS). The temperature for substrate heating was maintained at 600 °C and the sputtering pressure was set at 1.33 × 10 -1 Pa. The surface morphology and contact angles of the beta-FeSi 2 films were explored consistently in this research. Images of three-dimensional AFM and FESEM for the beta-FeSi2 film surface revealed a smooth surface with a root mean square roughness of 1.31 nm and a porous area. The average contact angle between the dropped water and beta-FeSi 2 film surface was found to be 98.7°, establishing that the surface of the beta-FeSi 2 films was hydrophobic. The acquired experimental results revealed the commencement of the hydrophobic surface feature of the beta-FeSi 2 films produced via FTDCS approach.
Translated Descriptions
⚠️
This is an automatic machine translation with an accuracy of 90-95%
Translated Description (Arabic)
في العمل الحالي، تم إنتاج أفلام بيتا- FeSi2 بشكل فوقي على ركائز رقاقة Si(111) من خلال استخدام رذاذ التيار المباشر للأهداف المواجهة (FTDCS). تم الحفاظ على درجة حرارة تسخين الركيزة عند 600 درجة مئوية وتم ضبط ضغط الاخرق عند 1.33 × 10 -1 باسكال. تم استكشاف التشكل السطحي وزوايا التلامس لأفلام بيتا فيسي 2 باستمرار في هذا البحث. كشفت صور AFM و FESEM ثلاثية الأبعاد لسطح فيلم بيتا FeSi2 عن سطح أملس مع متوسط خشونة مربع الجذر 1.31 نانومتر ومنطقة مسامية. وجد أن متوسط زاوية التلامس بين الماء الساقط وسطح غشاء بيتا فيسي 2 هو 98.7درجة، مما يثبت أن سطح غشاء بيتا فيسي 2 كان كارهًا للماء. كشفت النتائج التجريبية المكتسبة عن بدء ميزة السطح غير الآلفة للماء لأفلام بيتا فيسي 2 المنتجة عبر نهج FTDCS.Translated Description (French)
Dans le travail actuel, des films de beta-FeSi2 ont été produits par épitaxie sur des substrats de plaquettes de Si(111) via l'utilisation de la pulvérisation cathodique à courant continu (FTDCS). La température de chauffage du substrat a été maintenue à 600 °C et la pression de pulvérisation a été fixée à 1,33 × 10 -1 Pa. La morphologie de surface et les angles de contact des films bêta-FeSi 2 ont été explorés de manière cohérente dans cette recherche. Les images de l'AFM tridimensionnel et du FESEM pour la surface du film bêta-FeSi2 ont révélé une surface lisse avec une rugosité moyenne quadratique de 1,31 nm et une zone poreuse. L'angle de contact moyen entre l'eau tombée et la surface du film bêta-FeSi 2 s'est avéré être de 98,7°, établissant que la surface des films bêta-FeSi 2 était hydrophobe. Les résultats expérimentaux acquis ont révélé le début de la caractéristique de surface hydrophobe des films bêta-FeSi 2 produits via l'approche FTDCS.Translated Description (Spanish)
En el trabajo actual, las películas de beta-FeSi2 se produjeron epitaxialmente sobre sustratos de oblea de Si(111) mediante el uso de pulverización catódica de corriente continua de objetivos opuestos (FTDCS). La temperatura para el calentamiento del sustrato se mantuvo a 600 °C y la presión de pulverización catódica se estableció en 1.33 × 10 -1 Pa. La morfología de la superficie y los ángulos de contacto de las películas beta-FeSi 2 se exploraron consistentemente en esta investigación. Las imágenes de AFM tridimensional y FESEM para la superficie de la película beta-FeSi2 revelaron una superficie lisa con una rugosidad cuadrática media de 1,31 nm y un área porosa. Se encontró que el ángulo de contacto medio entre el agua caída y la superficie de la película de beta-FeSi 2 era de 98,7°, estableciendo que la superficie de las películas de beta-FeSi 2 era hidrófoba. Los resultados experimentales adquiridos revelaron el comienzo de la característica de superficie hidrófoba de las películas beta-FeSi 2 producidas mediante el enfoque FTDCS.Files
matecconf_iceast2018_01054.pdf.pdf
Files
(24 Bytes)
| Name | Size | Download all |
|---|---|---|
|
md5:7624dcbc096921e31a1da610e19a546e
|
24 Bytes | Preview Download |
Additional details
Additional titles
- Translated title (Arabic)
- التشكل السطحي وقابلية الترطيب للأغشية الرقيقة لمبيد ديسيليسيد بيتا الحديدي الناتج من خلال الرش بالتيار المباشر باستخدام زوج من الأهداف المواجهة
- Translated title (French)
- Morphologie de surface et mouillabilité pour les films minces de disiliciure de bêta-fer produits par pulvérisation cathodique à courant continu à l'aide d'une paire de cibles opposées
- Translated title (Spanish)
- Morfología superficial y humectabilidad para películas delgadas de disiliciuro de hierro beta producidas mediante pulverización catódica de corriente continua utilizando un par de objetivos enfrentados
Identifiers
- Other
- https://openalex.org/W2885599590
- DOI
- 10.1051/matecconf/201819201054
References
- https://openalex.org/W1963641800
- https://openalex.org/W1978758705
- https://openalex.org/W1978770481
- https://openalex.org/W1983542408
- https://openalex.org/W1989894364
- https://openalex.org/W1994047172
- https://openalex.org/W1998252752
- https://openalex.org/W2040126109
- https://openalex.org/W2040594786
- https://openalex.org/W2048056775
- https://openalex.org/W2068951487
- https://openalex.org/W2079894801
- https://openalex.org/W2087711274
- https://openalex.org/W2090489028
- https://openalex.org/W2408176912
- https://openalex.org/W2551650103
- https://openalex.org/W4242824942