Published March 1, 2012
| Version v1
Publication
Open
Modeling electric charge distribution on insulator under electron bombardment: Case of rectangular surface implantation
Creators
- 1. University of Sfax
- 2. CEA DAM Île-de-France
- 3. Atomic Energy and Alternative Energies Commission
Description
Despite progress in the study of dielectric properties and the formation of secondary electrons images and especially in the understanding of their mirror curve shape, since the first models for mirror equation were developed, an exact quantitative prediction of the mirror curve for most materials has remained an unsolved problem. In this paper, recent development in the characterization of charge trapping ability of insulators using the scanning electron microscope mirror method (SEMMM) is reviewed. All this work has resulted in unprecedented insights into the early stage of dielectric study and it is also relevant for a deeper understanding of this anomalous effect (mirror effect) as well as for discussion of the factors affecting it. So the dependency of elliptic mirror and the anisotropic effect in the trapping phenomena of charge is highlighted.
Translated Descriptions
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Translated Description (Arabic)
على الرغم من التقدم المحرز في دراسة خصائص العزل الكهربائي وتشكيل صور الإلكترونات الثانوية وخاصة في فهم شكل منحنى المرآة، منذ تطوير النماذج الأولى لمعادلة المرآة، ظل التنبؤ الكمي الدقيق لمنحنى المرآة لمعظم المواد مشكلة لم يتم حلها. في هذه الورقة، تتم مراجعة التطورات الأخيرة في توصيف قدرة العوازل على احتجاز الشحنة باستخدام طريقة المرآة المجهرية الإلكترونية للمسح الضوئي (SEMMM). وقد أدى كل هذا العمل إلى رؤى غير مسبوقة في المرحلة المبكرة من دراسة العزل الكهربائي، كما أنه ذو صلة بفهم أعمق لهذا التأثير الشاذ (تأثير المرآة) وكذلك لمناقشة العوامل التي تؤثر عليه. لذلك يتم تسليط الضوء على تبعية المرآة الإهليلجية والتأثير متباين الخواص في ظواهر احتجاز الشحنة.Translated Description (French)
Malgré les progrès dans l'étude des propriétés diélectriques et la formation d'images d'électrons secondaires et surtout dans la compréhension de leur forme de courbe miroir, depuis que les premiers modèles d'équation miroir ont été développés, une prédiction quantitative exacte de la courbe miroir pour la plupart des matériaux est restée un problème non résolu. Dans cet article, les développements récents dans la caractérisation de la capacité de piégeage de charge des isolants à l'aide de la méthode du miroir de microscope électronique à balayage (SEMMM) sont passés en revue. Tous ces travaux ont permis d'obtenir des informations sans précédent sur les premiers stades de l'étude diélectrique et sont également pertinents pour une compréhension plus approfondie de cet effet anormal (effet miroir) ainsi que pour la discussion des facteurs qui l'affectent. Ainsi, la dépendance du miroir elliptique et l'effet anisotrope dans les phénomènes de piégeage de charge sont mis en évidence.Translated Description (Spanish)
A pesar del progreso en el estudio de las propiedades dieléctricas y la formación de imágenes de electrones secundarios y especialmente en la comprensión de su forma de curva de espejo, desde que se desarrollaron los primeros modelos para la ecuación de espejo, una predicción cuantitativa exacta de la curva de espejo para la mayoría de los materiales ha seguido siendo un problema sin resolver. En este artículo, se revisa el desarrollo reciente en la caracterización de la capacidad de captura de carga de los aisladores utilizando el método de espejo de microscopio electrónico de barrido (SEMMM). Todo este trabajo ha dado como resultado una comprensión sin precedentes de la etapa inicial del estudio dieléctrico y también es relevante para una comprensión más profunda de este efecto anómalo (efecto espejo), así como para la discusión de los factores que lo afectan. Así se resalta la dependencia del espejo elíptico y el efecto anisotrópico en los fenómenos de atrapamiento de carga.Files
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Additional details
Additional titles
- Translated title (Arabic)
- نمذجة توزيع الشحنة الكهربائية على العازل تحت القصف الإلكتروني: حالة زرع سطح مستطيل
- Translated title (French)
- Modélisation de la répartition des charges électriques sur isolant sous bombardement électronique : Cas de l'implantation de surface rectangulaire
- Translated title (Spanish)
- Modelado de distribución de carga eléctrica en aislador bajo bombardeo de electrones: Caso de implantación de superficie rectangular
Identifiers
- Other
- https://openalex.org/W2054412823
- DOI
- 10.1063/1.3700435
References
- https://openalex.org/W1505470943
- https://openalex.org/W1979930116
- https://openalex.org/W1984320230
- https://openalex.org/W1984807140
- https://openalex.org/W1990998083
- https://openalex.org/W1999629320
- https://openalex.org/W2037911416
- https://openalex.org/W2077244521
- https://openalex.org/W2084901970
- https://openalex.org/W2089205332
- https://openalex.org/W2103590771
- https://openalex.org/W2120987696