Published November 23, 2021
| Version v1
Publication
Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors (Data)
Creators
- 1. Indonesian Institute of Sciences
- 2. Technische Universität Braunschweig
Description
Origin projects and figures used for the article "Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors", published in the proceedings of the 30th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop; 18.08.2019 to 20.08.2019; Wolfson College, Oxford, United Kingdom.
Translated Descriptions
⚠️
This is an automatic machine translation with an accuracy of 90-95%
Translated Description (Arabic)
مشاريع الأصل والأرقام المستخدمة لمقال "تعزيز استجابات التردد غير المستقرة لأجهزة استشعار الكابولي MEMS بالرنين الكهربائي الحراري"، الذي نُشر في وقائع ورشة العمل الثلاثين للميكروميكانيكا والأنظمة الدقيقة في أوروبا ؛ 18.08.2019 إلى 20.08.2019 ؛ كلية ولفسون، أكسفورد، المملكة المتحدة.Translated Description (French)
Projets Origin et chiffres utilisés pour l'article « Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors », publié dans les actes du 30th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop ; 18.08.2019 to 20.08.2019 ; Wolfson College, Oxford, Royaume-Uni.Translated Description (Spanish)
Origin projects and figures used for the article "Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors", published in the proceedings of the 30th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop; 18.08.2019 to 20.08.2019; Wolfson College, Oxford, United Kingdom.Additional details
Additional titles
- Translated title (Arabic)
- تعزيز استجابات التردد غير المستقرة لمستشعرات الرنين الكهرحراري MEMS الكابولية (البيانات)
- Translated title (French)
- Amélioration des réponses en fréquence instationnaires des capteurs en porte-à-faux MEMS à résonance électrothermique (données)
- Translated title (Spanish)
- Mejora de las respuestas de frecuencia inestables de los sensores en voladizo MEMS de resonancia electrotérmica (Datos)
Identifiers
- Other
- https://openalex.org/W4393515538
- DOI
- 10.5281/zenodo.5720401