Published May 30, 2012 | Version v1
Publication Open

Radio Frequency Quadrupole Accelerator: A High Energy and High Current Implanter

Creators

  • 1. Key Laboratory of Nuclear Radiation and Nuclear Energy Technology
  • 2. Peking University
  • 3. State Nuclear Power Technology Company (China)

Description

In this chapter, issues of applying the radio frequency quadrupole (RFQ) accelerator to ion implantation for material modification and microelectronics will be discussed at first. Subsequently, several examples of the RFQ-based implanters will be introduced, with an emphasis on the ladder IH-RFQ accelerator at Peking University, of which the output beam energy spread is optimized to be much lower than the conventional value by means of a novel beam dynamics design strategy. The chapter is divided into 6 sections, which are the introduction, advantages of RFQ as implanter, problems and solutions of RFQ-based implanters, several RFQs aiming at ion implantation, ladder IH-RFQ at Peking University, and summary.

⚠️ This is an automatic machine translation with an accuracy of 90-95%

Translated Description (Arabic)

في هذا الفصل، ستتم مناقشة قضايا تطبيق معجل التردد اللاسلكي رباعي الأقطاب (RFQ) على زرع الأيونات لتعديل المواد والإلكترونيات الدقيقة في البداية. بعد ذلك، سيتم تقديم العديد من الأمثلة على الغراس القائمة على طلب عروض الأسعار، مع التركيز على مسرع IH - RFQ في جامعة بكين، والذي تم تحسين انتشار طاقة حزمة الإخراج لتكون أقل بكثير من القيمة التقليدية من خلال استراتيجية تصميم ديناميكيات الحزمة الجديدة. ينقسم الفصل إلى 6 أقسام، وهي مقدمة، ومزايا طلب عروض الأسعار كمزارع، ومشاكل وحلول الغراس القائمة على طلب عروض الأسعار، والعديد من طلبات عروض الأسعار التي تهدف إلى زرع الأيونات، والسلم IH - RFQ في جامعة بكين، والملخص.

Translated Description (French)

Dans ce chapitre, les questions d'application de l'accélérateur quadripolaire radiofréquence (RFQ) à l'implantation ionique pour la modification de matériaux et la microélectronique seront abordées dans un premier temps. Par la suite, plusieurs exemples d'implanteurs basés sur RFQ seront introduits, en mettant l'accent sur l'accélérateur Ladder IH-RFQ de l'Université de Pékin, dont l'étalement de l'énergie du faisceau de sortie est optimisé pour être beaucoup plus faible que la valeur conventionnelle au moyen d'une nouvelle stratégie de conception de la dynamique du faisceau. Le chapitre est divisé en 6 sections, qui sont l'introduction, les avantages de la RFQ en tant qu'implanteur, les problèmes et les solutions des implanteurs basés sur la RFQ, plusieurs RFQ visant à l'implantation ionique, l'échelle IH-RFQ à l'Université de Pékin et le résumé.

Translated Description (Spanish)

En este capítulo, se discutirán en primer lugar los problemas de la aplicación del acelerador de cuadrupolo de radiofrecuencia (RFQ) a la implantación de iones para la modificación de materiales y la microelectrónica. Posteriormente, se presentarán varios ejemplos de los implantadores basados en RFQ, con énfasis en el acelerador Ladder IH-RFQ de la Universidad de Pekín, cuya dispersión de energía del haz de salida se optimiza para que sea mucho menor que el valor convencional mediante una nueva estrategia de diseño de dinámica de haces. El capítulo se divide en 6 secciones, que son la introducción, las ventajas de la RFQ como implantador, los problemas y soluciones de los implantadores basados en RFQ, varias RFQ destinadas a la implantación de iones, Ladder IH-RFQ en la Universidad de Pekín y un resumen.

Files

37184.pdf

Files (1.3 MB)

⚠️ Please wait a few minutes before your translated files are ready ⚠️ Note: Some files might be protected thus translations might not work.
Name Size Download all
md5:299a2632c9a62f76d2aef90ced9c75e2
1.3 MB
Preview Download

Additional details

Additional titles

Translated title (Arabic)
مسرع رباعي الأقطاب للترددات الراديوية: مزارع عالي الطاقة وعالي التيار
Translated title (French)
Accélérateur quadripolaire à radiofréquence : un implanteur à haute énergie et à courant élevé
Translated title (Spanish)
Acelerador cuadrupolo de radiofrecuencia: un implantador de alta energía y alta corriente

Identifiers

Other
https://openalex.org/W1565238109
DOI
10.5772/33823

Is supplement to
https://openalex.org/W4283792991 (Other)
https://openalex.org/W4236410228 (Other)
https://openalex.org/W2093154572 (Other)
https://openalex.org/W2087827592 (Other)
https://openalex.org/W2070350043 (Other)
https://openalex.org/W2062940539 (Other)
https://openalex.org/W2045505705 (Other)
https://openalex.org/W1715049500 (Other)
https://openalex.org/W1679129564 (Other)
https://openalex.org/W1631857571 (Other)

GreSIS Basics Section

Is Global South Knowledge
Yes
Country
China

References

  • https://openalex.org/W1561876765
  • https://openalex.org/W1965142762
  • https://openalex.org/W2010350212
  • https://openalex.org/W2011260089
  • https://openalex.org/W2025015910
  • https://openalex.org/W2057537520
  • https://openalex.org/W2068723096
  • https://openalex.org/W2083132084
  • https://openalex.org/W2085973573
  • https://openalex.org/W2091190308
  • https://openalex.org/W2097819265
  • https://openalex.org/W2124803788
  • https://openalex.org/W2149112058
  • https://openalex.org/W2188591079
  • https://openalex.org/W2255647991
  • https://openalex.org/W2260254731
  • https://openalex.org/W2520143457
  • https://openalex.org/W2557923205
  • https://openalex.org/W2558974699
  • https://openalex.org/W3013765802
  • https://openalex.org/W637669023